非接触検査(オープン/ショート)とは、LCDやPCB、FPC等において、従来のコンタクトプローブによる接触式電気検査に代わる革新的技術であり、高スループットを達成すると同時に、AOI（画像処理検査）では検出が困難な欠陥の検査も電気的に検出可能です。（国内外で特許取得済み）

LCD分適用野への例

 

アレイ工程におけるオープン／ショート検査の重要性

　電気式オープン／ショート検査をアレイ検査工程に導入することにより、従来光学式画像検査装置では検出が困難であった配線の微細欠陥および層間ショート欠陥等の欠陥検出が可能となります。これにより欠陥の早期発見、早期リペアが可能となり、パネルの品質向上および歩留り向上に大きく寄与します。