TFT/OLED非接触オープン/ショート検査機 |
・ |
Gen.5〜Gen.10の基板サイズ対応 |
・ |
非接触検査による高スループット |
・ |
豊富な納入実績をベースとした、 高い欠陥検出能力 |
|
|
|
|
Gen.10 |
Gen.8.5 |
型式 |
UNIOS Series |
UNIOS Series |
ガラス基板サイズ |
2,880x3,080mm |
2,200x2,500mm
|
タクトタイム |
約110秒(42") |
約120秒(32") |
装置サイズ |
4,800x5,600x2,700mm |
4,400x4,980x2,800mm |
特性検査(TEG)用プローバー |
アレイ検査プローバー(LTPS) |
画像処理検査システム |
|
|
|
・ |
Gen.3〜Gen.10の基板サイズ対応 |
・ |
ノイズ低減機能採用による測定
信頼性の向上 |
・ |
各種特殊機能により操作性向上 |
|
・ |
〜Gen.6.0の基板サイズ対応 |
・ |
高スループット、低ノイズ実現 |
・ |
高信頼プローブユニットと品種交換の自動化 |
・ |
各社テスターに対応可能 |
|
・ |
高解像度、高速画像処理技術によりLCDアレイパターン検査が可能 |
・ |
非接触オープン・ショート検出センサとのインテグレートにより、より高い欠陥検出率を達成 |
|
|
タッチパネル用 非接触オープン/ショート検査装置 |
|
|
型式 |
UNIOS-TP |
ガラス基板サイズ |
730 × 920mm |
スキャンスピード |
100〜500mm/sec |
装置サイズ |
3,000 × 2,600 × 2,100mm |
|
多軸センサーヘッド搭載で大幅なタクト短縮(最大18ヘッド) |
|
各種検査装置の使用用途一覧 |
非接触オープン/ショート検査装置事業 |
FPD(LCD, PDP, OLED)用OS検査装置 |
PCB用OS検査装置 |
太陽電池OS検査装置 |
高性能ビジョン(画像処理)検査システム事業 |
FPD用各種光学フィルム検査装置 |
FPDセル用点灯検査装置 |
二次電池電極検査装置 |
次世代電池関連機器事業 |
二次電池(リチウムイオン)テストシステム |
次世代電池(燃料電池)用インバーター |
|
|